İLERİ İMALAT METOTLARI
İyon Işını İle İşleme
Doç.Dr. Fehmi ERZİNCANLI
Tasarım ve İmalat Mühendisliği Bölümü
2007
İyon Işını İşleme Sistemi
İyon Işını Makinası üç temel parçadan
oluşmakta;
 İyon oluşturan plazama kaynağı
 Plazmadan iyonların çıkışını sağlayan
kafes
 Parçayı tutan tabla
İyon Işını İşleme Sistemi
İyon Işını İşleme Sistemi
Örnekler
İyon Işını İşleme Sistemi
•Katot olarak görev yapan, ısıtılan Eleman;
tungten
•Yüksek voltajla elektronlar anoda doğru
hareketlendirilir
•Voltaj 1 kV üzerindeir
İyon Işını İşleme Sistemi
•Elektronlar katottan anoda doğru giderken,
bu atomlar argon atomlarıyla birleşirler
•Aşağdaki gibi Ar iyonu oluşur
İyon Işını İşleme Sistemi
 Manyetik alan elektronların dönüşünü
sağlar ve iyonlaşmayı hızlandırı
İyon Yönlendirme Eleği
 Plazma da oluşan iyonların yön
almasını iyon yönlendirme eleği
sağlar
 Karbondan veya molibden den ince
delikli olarak imal edilmiştir
 Elektron bombardımanına dayanıklıdır
Parçaları
Çarpışma Mekanizması
 İyonlar ile atomların büyüklüğü
karşılaştırılabilir
 Bir iyonun bir yüzeye çarpması
durumunda orada bir atomla
karşılaşır
 Bu çarpışma genelde yüzeye normal
olur
Çarpışma Mekanizması
 Eğer iyonun kütlesi atomun
kütlesinden küçük ise iyon geriye
döner
 Fakat atom içeriye doğru gömülür
Çarpışma Mekanizması
Çarpışma Mekanizması
 Eğer çarpan iyonun kütlesi yüzeydeki
atomun kütlesinden büyükse
 İyon ve atom içeriye doğru gömülür
 Bu tür çarpışma atomların
uzaklaşmasını sağlayamaz
Download

İyon Işını İle İşleme