Telefon: +90 212 500 34 18
Katotlarımız
İNOVAC MÜHENDİSLİK
HİZMETLERİ
Ağaoğlu My Office 212 Kat:23
Daire:380 Mahmutbey
Merkez Mah. Taşocağı Cad.
TR-34217 Güneşli, Bağcılar /
İSTANBUL
Rev01
Telefon: +90 212 500 34 18
Faks: +90 212 500 34 19
E-posta: [email protected]
Katotlarımız
Planer & Silindirik Katotlar
Speedflo Reaktif Gaz Kontrolör & Finiş Dedektörü
Lineer İyon Kaynakları
Ürünlerimizle birlikte yerinde uygulama, eğitim ve
ayarlama hizmeti sunuyoruz.
GENCOA FARKI
Gencoa, beklentilerinizi aşacak kompanent ve
know-how ı bünyesinde barındırmaktadır.

8 farklı tipte silindirik magnetron

Silindirik magnetronda 152mm ve 75mm
çap seçenekleri

10 farklı tipte planer magnetron

Yerinde uygulama

Reaktif gaz proses kontrolü için benzersiz
PDF + algoritması

In-situ ve ex-situ PEM, lambda sensörü, target voltajı
Devamlı inovasyon, müşteri memnuniyeti,
proses desteği, daha iyi çözümler...
Ürünlerimizin Kullanım Alanları
Planer Magnetron
Sizlere 10 farklı tipte planer magnetron seçeneği sunmaktayız.
Tüm uygulamalar için optimize edilmiş geniş bir yelpazede manyetik
seçenekler
SW
Standart, 2 kutuplu optimize dengeli manyetizma
PP
İyon yardımcı için standart, 2 kutuplu optimize dengesiz manye-
HY (SW veya PP)
%45 ten fazla target kullanımı için yüksek verimli çok kutuplu
VT
SW ve SP arasında sürekli değişen VTech manyetizma
FFE
Saf target ve küçük kusurlar için tam görünüş erezyonu
LP
Ferro-manyetik target sıçratma prosesi için LOOP tasarımı
HS
Düşük basınç & düşük voltaj sıçratma prosesi için yüksek güçlü
RF
13,52MHz sıçratma prosesi için düşük güçlü manyetizma

RF ile birlikte 40 mm (SW tip)

50 mm (SW tip)

65 mm (yalnızca PP tip)

75 mm (Vt, LOOP, SW & PP tip)

89mm (LOOP)100 mm (Vt, LOOP, SW & PP tip HY opsiyonu ile birlikte)

125 mm (Vt, LOOP, SW & HY opsiyonu ile birlikte PP tip)

150 mm (Vt, LOOP, SW & HY opsiyonu ile birlikte PP tip)

200mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip –Merkezleme bileziği dahildir)

250mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip –Merkezleme bileziği dahildir)

300mm (HY opsiyonu ile birlikte SW tip –Merkezleme bileziği dahildir)
Cazip fiyatlardaki standart dışı uzunlukta ürünlerimize de ulaşabilirsiniz.
Standart İki Kutuplu SW Manyetizma
için Hedeflenen Target Erezyonu
2 Kutuplu Dengesiz PP Manyetizma
%40-60 Target Kullanım Verimliliği için HY
%100 Kalınlık Artışı Sağlayan Metallizerfor
FFE ile Target Erezyonu
Manyetik Target için LOOP Kaynağı
VTechfully ayarlanabilir manyetik opsiyonu ile birlikte Ar-Ge merkezleri için
küçük kaynaklar
30 kW RF kapasitesine kadar uyumlu montaj ünitesi opsiyonu ile birlikte
özel katot tasarımı ve manyetiği
Manyetik Çeşit
Target
Uygulama
Kullanımı %
SW-2 kutuplu, dengeli
25-30
Genel proses için standart kaynak
PP-2 kutuplu, dengesiz
25-30
İyon destekli kaplama için standart
kaynak
VT-vtech, değişken
25-40
İyon destekli manyetik güç
HY-yüksek verim
40-50
Gelişmiş target kullanım kaynağı
LP-ferromanyetik döngü için
25-40
Kalın-ferromanyetik target sıçratma
MZ-metalizer
50-60
Oldukça kalın metalik target
FFE-tam yüzey erezyonu
40-60
Reaktif modda target sıçratma
AS-çift magnetron
40-60
Reaktif dielektrik kaplama
Silindirik Magnetron

152, 100 ve 75mm olmak üzere 3 farklı silindirik magnetron formumuz
mevcuttur.

Manyetik alanlar, en iyi target kullanımını ve temizliğini alabilmek için
optimize edilmiştir.

AC çalıştırma için DLIM çeşidi

4 farklı manyetik güç mevcuttur.

Proses stabilitesi için manyetik olarak aktif yardımcı anotlar.

Düzenli kontrol ve reaktif sıçratma için gaz dağıtım sistemleri

Tüm silindirik uygulamalar için yerinde süreç desteği ve ayarlama
RF güç modu ile birlikte
AC Dual Planer
tekli planer
Silindirik target ömrü, planer target lardan 2-4 kat daha fazladır.
Reaaktif prosesleriniz için silindirik target önermekteyiz.
75mm çapında target a mini tip end-blok yan montajı
GenSys75 –3” çapında silindirik magnetron target , planer target çıkışlarına
uymaktadır.
Ürünlerimiz termal stabilite özelliğine sahiptir ve bozulmaya karşı
dayanıklıdır.
Deliksiz destek borularıyla birlikte önceden ayarlanmış geniş
alan manyetizma kontrol ünitesi
Proses performansınızı artırmak için gaz ünitesi seçenekleri ve manyetik olarak yönlendirilmiş anotlarımız mevcuttur.
Gencoa silindirik manyetizmalar, prosesinizi destekleyen opsiyonel anotlar
ile birlikte birçok avantaj sunar.

20mm target kalınlığına kadar düşük voltaj sıçratma

Target sonuna kadar target erezyonu (çökelme olmaz)

Target kullanımında yüksek verim

Uzun vadeli stabilite için özel paslanmaz çelik sayesinde su soğutmadan korunan manyetizma - Helyum sızıntı kontrolü

Manyetizma, yükselen su sıcaklığı nedeniyle target ta manyetik güç
varyasyon düşüklüğünü azaltmak için aktif bir şekilde soğutulur.

Manyetizmada yüksek homojenlik sağlayan mekanik tasarım, önceden
seçilmiş mıknatıs ve manyetik yönlendirme

RF manyetik ünite veya manyetik alanı yönlendirme ile yüksek basınçlı çalıştırma

Ultra-gaz bariyerler, cam ve web substratlar için reaktif Al2O3 katmanlar.

Yüksek hızlı reaktif TCO, standart seramik target bazlı uygulamalardan güneş pillerine kadar kullanılır.

4,5m uzunluğundaki güneş kolektörlerindeki reaktif silindirik çoklu
bileşenli seramik katmanlarda düşük voltaj kullanımı, geniş alan kaplamasına izin verirken substratlarda plazma hasarını azaltır.

DLIM, kolay reaktif gaz kontrolü, cam geçerken target voltaj sinyalinde ve PEM’de düşük dalgalanma sağlama özelliği.

DLIM, daha iyi homojenlik ve düşük plazma etkileşimi ve camda düşük elektrostatik yük etkileri sağlar.
REAKTİF GAZ PROSESLERİ İÇİN KONTROL ÇÖZÜMLERİ
2-5 sensör bazlı geri besleme
AC güç ve DLIM manyetizmasını kullanarak stabil arc-free işlem
Farklı proses ve PEM ayarları ile ayarlanabilen katman özellikleri
Speedflo dünya çapındaki birçok sistemi kontrol etmektedir.
Yüksek oranlarda metal içeren reaktif sıçratmada prosesi stabil tutmak oldukça zor olması sebebiyle proses kontrol kritik bir faktördür.
Yerinde ayarlama veya Speedflobox’a uzaktan bağlanma hizmetimiz
mevcuttur.
Sizlere çoklu sensör kontrolü imkanı sunmaktayız, böylece
daha geniş bir alana gaz dağıtabilir ve kontrol edebilirsiniz.
Lambda sensörleri
Sensör hızlı hareket eder ve böylece bölgeyi homojen bir şekilde
kontrol eder.
Dikey Silindirik Sıçratma Modülleri
Dikey tasarım, camdaki toz ve kusurları minimuma indirir.

Gencoa ile birlikte sizlere yüksek oranda oksit içeren katmanlar için
birçok çözüm sunmaktayız.

Size yerinde işlem uygulaması ve birçok farklı sektördeki imalat
hatlarındaki 30 yıllık deneyimimizle sağlayabileceğimiz proses optimizasyonu sunuyoruz.

DLIM ile sizlere üstün özellik gösteren dual silindirik magnetronlardan reaktif sıçratma imkanı sunmaktayız.
Download

Katotlar: click for download.