Elst-μA – Rotační elektrostatické mikromotory
6.
ELEKTROSTATICKÉ
MIKROAKTUÁTORY II
Princip
• Využívají působení Coulombovských sil mezi nabitými elektrodami tak,
že výsledný pohyb je kruhový.
• Podle konstrukce se využívají všechny uvedené principy vytváření
elektrostatických sil, tj. podélný, příčný pohyb, působení dielektrika a
jejich vzájemné kombinace.
Přednášející: Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc.
[email protected]
tel.: 2 2435 2267
http://micro.feld.cvut.cz
Cvičící:
Ing. Adam Bouřa
Ing. Pavel Kulha
1
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Elst-motory – Elektrostatické Curie kolo
•
•
•
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
2
Elst-motory – s proměnnou kapacitou (VCM)
Princip
• Feroelektrický materiál, např. BaTiO3 s εr závislou na teplotě (změna kapacity)
•
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
VCM - variable capacitance micromotors
(Synchronní elektrostatický mikromotor)
Kondenzátor mezi ploškou na kole (změna εr) a pevnou elektrodou kondenzátoru
Vodivé kolo pokryté BaTiO3. lokální ohřev světlem, snižení εr
Elektrostatická síla kondenzátoru přitáhnou část s vyšší εr, tj. pootočí s kolem
Podobnost se zasunutím dielektrika mezi desky kondenzátoru
Dielektrická
konstanta
εr (-)
εr = fce(T )
C=ε
feroelektrický
materiál
S
d
Teplota (°C)
Poznámka - S napětím 10 V, sílu 0,18 μN na povrchu kola, kroutící moment
9·10-10 Nm. Vzdálenost elektrody od kola je 1 μm, šířka kola 100 μm, poloměr
500 μm. Tloušťka feroelektrického materiálu na povrchu kola je 10 μm
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
 Průměr jeho rotoru je asi 100 m.
 Mezera rotor-stator je cca 1- 3 um
3
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
4
Elst-motory – s proměnnou kapacitou (VCM)
Elst-motory – excentrický valivý mikromotor (wobble motor)
Princip
• Rotor s póly tvořícími proměnné kapacity mezi póly
statoru
• Rotor uzemněný, na elektrody statoru rotující
napěťové impulsy
• Příčné působení elektrostatických sil mezi pólovými
nástavci
• Snížení přitažlivých sil mezi rotorem a statorem
(substrát) - na spodní části rotoru vodivá vrstva z
vysoce dotovaného poly-Si (stíní elektrostatické síly
generované nabíjením substrátu)
▬ Nedostatky
• Nevyrovnaná síla způsobující nestabilitu rotoru
• Přitažlivá síla mezi rotorem a statorem (opotřebení)
• Vyčnívání pólů statoru způsobuje potíže při výrobě.
Princip
• Valivý pohyb rotoru kolem
hřídele
• Sekvenční napěťovým buzením
statoru vytvoří točivé
elektrostatické pole
• Mezi buzenými elektrodami
statoru a uzemněným rotorem
příčná elst síla
Poznámka –
 otáčky cca 1000ot/min
 budicí napětí 100 V
 poměr vnitřního průměru rotoru a vnějšího průměru hřídele 70-200 um
 stator průměr 571,5 μm a rotor průměr 498,3 μm
 Anodová dielektrická pasivace statoru 30,5 μm
Poznámka - Mezera mezi rotorem a statorem 1 μm až 3 μm, dvoufázové buzení,
napětí 30 V až 120 V (závisí na mezeře mezi statorem a rotorem). Větší mikromotory
až 3800 ot·min-1 na vzduchu a 4400 ot·min-1 ve vakuu při 300 V až 600 V
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
5
Elst-motory – Elektrostatický indukční motor
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
6
Elst-motory – Elektrostatický indukční motor
Princip





•
Příčné elst síly mezi stator elektrodami a vodivým rotorem.
•
Kruhové rotující elst pole statoru se indukuje pod aktivní elektrodou do vodivého
rotoru.
•
Místo s indukovaným napětím v rotoru je taženo rotačním statorovým napětím,
zpožďuje se oproti statoru - vzniká točivý moment rotoru.
•
Točivý moment se zmenšuje – a) časová konstanta indukce pole do rotoru je velmi
velká, místa se nezpožďují, b) čas. konstanta velmi malá (rotor obsahuje velmi
málo těchto míst)
Rotor o vnějším průměru 50 um, vnitřním průměru 35 um
Kroutivý moment nNm při 10000 ot./min
Tloušťka rotoru je 1 m, rotor má 4 elektrody
Buzení rotoru 100 V / 50 kHz
Rezistivita rotoru 106 cm
Poznámka – kroutící moment nN·m-1 při 10000 ot·min-1, vnější poloměr rotoru
50 μm, vnitřní poloměr 35 μm, napětí 100 V, buzení 50 kHz. Tloušťka rotoru 1 μm,
měrný odpor rotoru je 106 Ω·cm, stator má 4 elektr. Piezoelektrické materiály LiNbO3, Si nebo PZT. Lze využít ke konstrukci indukčních motorů nebo
kapalinových pump.
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
7
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
8
Elst-motory – Rohatkový mikromotor
Elst-motory – Rohatkový mikromotor
Princip
• Kruhové uspořádání hřebenových struktur elektrostatického pohonu.
• Napětí přitahuje elektrody, rotorové elektrody pootočí rotorem.
• Po odpojení napětí se vrátí rotorové elektrody zpět do původní polohy.
• K rotorovým elektrodám je připojena rohatka, při napětí pootočí rotor
Rohatka zabrání vracení zpět při odpojení napětí.
• Realizace na Si substrátu.
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Sandia
9
Elst-optika – Optická mikrozrcátka
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Sandia
10
Elst-optika – Mikrozrcátko s torzním uchycením v ose
• Součástky - světelných modulátorů v reflexním nebo transmisním módu,
optické skenery, filtry, proměnné clony nebo čočky, nastavitelná
mikrozrcátka, apod.
• optická mikrozrcátka - snímací a projekční systémy (tiskárny, skenery,
datové projektory), Matice jako prostorové světelné modulátory.
• naklápění - elektrostatického a tepelného ovládání mikroaktuátorů.
Princip
• nakláněno působením elektrostatické síly okolo torzního uchycení k Si substrátu.
• Na substrátu jsou dvě nastavovací elektrody, jedna adresovací a jedna
připevňovací.
• Při napětí 31 V přiloženém na adresovací elektrodu se zrcátko natočí o úhel 7,6o a
dotkne se uzemněné dorazové elektrody.
• Pro zpětné překlopení zrcátka je nutné napětí snížit alespoň na hodnotu 16 V.
• Prostor - naklápění v jedné, dvou i třech osách, plovoucí zrcátka (elst.
pole ve třech osách).
Použití - přepínání, modulace, zaostřování, apod. optického záření, optické
komunikace, výpočetní technika, apod.
Poznámka - Al mikrozrcátko má odrazivot 83%. Rozměr 30 m x 30 m, umístění na
dvou torzních závěsech o délce 15 m, šířce 0,4 m a tloušťce 2 m. Mezery mezi
elektrodami a zrcátkem jsou 2 m, napětí pro překlopení 30 V, náklon 7,6, časová
odeza 10 s.
Využití - světelný modulátor, filtrace a redukce fázového zkreslení. Lze spojovat do
matic.
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
11
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
12
Elst-optika – Mikrozrcátko s torzním úchytem na Si substrátu
•
Mikrozrcátka s rozměrem 70 m x 70 m, vzdálenost mezi elektrodami
2 m, odrazivý materiál na povrchu zrcátka je Ag, překlápěcí napětí
34 V, naklápěcí úhel 1,86°, maximální pracovní frekvence je 26 kHz.
•
Vzdálenost spodní a horní elektrody je 2 m (limitováno MUMPs
technologií a velikostí překlápěcího napětím.
•
Realizace v technologii tenkovrstvového mikroobrábění poly-Si
substrátu.
Elst-optika –Mikrozrcátko s torzním úchytem na Si substrátu
Realizace
• Mikrozrcátko se sendvičovou strukturou z vrstev Poly-Si 1, Poly-Si 2 a
vrstvy Ag.
• Pro adresování síť z poly-Si 0 a Poly-Si 1 s připojením ke kontaktům.
• Otvory v mikrozrcátku jsou určené technologií pro leptání oxidu pod
mikrozrcátkem.
• Spodní elektroda je z poly-Si 0 nebo substrátu.
Návrh - využívání mechanických
vlastností Si, návrh analytický
postup s využitím ekvivalence
veličin z elektrické a mechanické
domény.
Vrstva Ag
Si vychylované
mikrozrcátko
Torzní úchyt
Si substrát
Pevná elektroda
Si substrát
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
13
Elst-optika –Mikrozrcátko s torzním úchytem na Si substrátu
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
• Rozměry jednoho mikrozrcátka jsou 70 μm x 70 μm.
l
GIP
Fe /2
l
Fe
Mt
z
y
l
GIP
Fe /2
Figure 6: Micromirror
with one torsion spring
M e tal
P o ly 2

S ilico n S u b s tr ate
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
15
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Fe (d) y
2 2
I
Figure 10: Equivalent circuit of an electrostatically actuated
micromirror
M e ta l
2 n d O x id e
1 s t O x id e
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
14
Příklad realizované matice Si mikrozrcátek
• Matice mikrozrcátek 20 x 20 vyrobených na jednom čipu technologií
MUMPs.
• Zrcátka jsou adresovatelná, náklon lze ovládat napětím mezi pevnou
elektrodu na substrátu a pohyblivou elektrodou (zrcátkem).
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
P ol y 2
Po ly 1
P ol y 0
S i li c on S u bs tra t e
16
Elst-optika –
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Elst-optika –
17
Elst-optika –
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
18
Elst-optika –
19
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
20
Elektro-hydrodynamické aktuátory
Elektro-hydrodynamické aktuátory
Princip
• Vzájemného působení nehomogenního elektrického pole a ionizované nebo
polarizovatelné kapaliny nebo plynu.
• Silového působení je založené na principu změny dielektrika kondenzátoru.
• F působící v kapalném dielektriku za přítomnosti nehomogenního elektrického pole
Coulombovská Kelvinova
KortewegElektrostrikční síla (pouze
síla
polarizační síla Helmholzova síla pro stlačující prostředí)
ε je permitivita tekutiny, P je polarizační vektor, ρ je měrná hustota, q je hustota volného
prostorového náboje a E je intenzita elektrického pole v tekutině.
První a třetí člen ve výše uvedeném vzorci jsou významné a mají nejdůležitější
příspěvek do silového pole.
21
Elektro-hydrodynamické aktuátory
•
•
•
•
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
F
+Q
Dielektrická
látka
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
22
Elektro-hydrodynamické aktuátory
Konstrukce elektro-hydrodynamických kapalinových pump s využitím uvedeného
principu.
Jsou zde indukční pumpy (teplotní a nábojové) a unipolární nebo bipolární injekční
pumpy.
Uvedený princip lze využít pro čerpání organických rozpouštědel, jako methanolu,
ethanolu, acetonu atd.
V mikroprovedení existují tzv. injekční a indukční typy těchto pump, elektrické
napětí lze také přikládat podélně k dielektrické tekutině.
elektricky vodivá tekutina
elektricky nevodivá
tekutina
elektricky nevodivá tekutina s jednou
společnou elektrodou
Náboje mohou být injektovány
do kapaliny elektrodami nebo
mohou být kapacitně
indukovány v kapalině pomocí F = qE - 1 E 2∇ ε
2
izolovaných elektrod nebo
elektrodami s velkou
povrchovou nabíjecí bariérou.
-Q
Výše uvedený vztah může být
použitý k nalezení síly, která
bude působit v tekutém
dielektriku podle obrázku
Polarizační síla je nulová ve stejnosměrném poli a je mnohem menší než
Coulombovská síla v nehomogenním proměnném poli (měnícím se).
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
Teplotní gradient může být jednoduše použit k indukování gradientu
permitivity.
U
 1  
1
F  qE  PE  E 2     E 2 
2
 2  
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Elektro-hydrodynamické aktuátory (pumpy) proto potřebují ke své činnosti
buď tekutou látku s indukovaným gradientem permitivity nebo tekutinu
obsahující volné (indukované) náboje.
Příklad: Převodní charakteristika elektro-hydrodynamické kapalinové
pumpy pro čerpání ethanolu
•Technologie objemového mikroobrábění Si
•Aktivní plocha 3 mm x 3 mm s pravoúhlými otvory o velikosti 140 μm
•Maximální tlak 2480 Pa při řídicím napětí 700 V
elektricky vodivá tekutina s jednou
společnou elektrodou
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
23
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
24
Elektro–rheologické aktuátory
Elektro–rheologické aktuátory
Princip
• Kondenzátor s elektrodami mezi kterými protéká tekutina s dielektrickými a
polovodičovými částicemi s rozměry v rozmezí 0,04 m až 50 m.
• Při U se pevné částice polarizují a uspořádají se v řetězce mezi kladnou a
zápornou elektrodou, tj. vytvářejí „můstky“ napříč tekutinou mezi elektrodami.
• Vytvořené můstky zvyšují tření mezi elektrodami a tekutinou (zvyšuje se
dynamická viskozita).
• Proces je reversibilní, po odpojení U se můstky rozpadnou.
• Třecí síly jsou porovnatelné s hydraulickými silami.
• Typická E = 2·103 V·mm-1, při E = 4·103 V·mm-1 se třecí vlastnosti tekutiny blíží
pevným látkám.
• Maximální E je určena dielektrickým průrazem tekutiny.
Aplikace
• Mikrotekutinové hydraulické systémy
• Konstrukce řízených ventilů
• Aktuátor s přenosem síly z jedné elektrody na druhou přes elektrorheologickou tekutinu.
Síla otáčející
horní elektrodou
Elektro-rheologická
tekutina
U
Vlečená
elektroda
Elektro-rheologická kapalina s
nepolarizovanými hydrofilními částicemi
podélný pohyb
kruhový pohyb
U
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
25
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Elektro–rheologické aktuátory
Elektro–rheologické aktuátory
Uvedený princip je využitelný např. pro hydraulické spojky nebo
mikropřevodovky, které využívají třecích sil tekutiny a přes tekutinu se
přenáší silové působení (kroutící moment) z jednoho kola na druhé
Ventilový efekt
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
26
Pokud obě elektrody budou pevné a mezi nimi bude procházet tekutina, po
přiložení elektrického napětí se změní viskozita a průtok tekutiny mezi
elektrodami se „zabrzdí“. Jedná se o tzv. ventilový efekt. Pro konstrukci
aktuátorů s elektro-rheologickým principem lze využít i kombinaci obou
jevů, tj. převodového a ventilového.
27
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
28
Elektrostatické generátory kapek (ink-jet)
Elektrostatické měniče napětí
•
Po přiložení napětí na spodní elektrodu a vrchní elektrodu spojenou s tlakovou
membránou dojde k přitažení membrány ke spodní elektrodě a tím i vytvoření
podtlaku nad membránou.
•
Podtlakem se naplní komora inkoustem.
•
Po odpojení napětí se membrána vrátí do původní polohy a tím vytlačí určité
množství inkoustu do trysky, za tryskou se vytvoří kapka inkoustu.
•
Elektrostaticky řízené ink-jet tiskové hlavy se poprvé objevily v roce 1998 a v roce
2000 se začaly realizovat pro účely komerčního tisku.
•
•
Parametry:
•Spotřeba jedné trysky je
0,525 mW,
•Řídicí napětí 26 V, může mít
frekvenci až 18 kHz.
•Lze vytvořit čip s 128 tryskami
pro tisk s 360 dpi rozlišením.
MEMS napěťový konvertor - MEMS struktury elektromechanických napěťových
měničů (step-up).
Princip je založený na kondenzátoru s proměnnou vzdáleností desek ve spojení
s elektrostatickým aktuátorem.
Lze využít pro zdroje autonomního napájení v MST s piezoelektrickým nebo
elektrostatickým principem.
U kondenzátoru lze zvýšit nebo snížit p-krát zmenšením nebo zvětšením C p-krát
při zachování Q
Změna je řízena mechanickým elst. mikroaktuátorem
Periodické přepínáním mezi dvěma C - bistabilní napěťový konvertor.
U=
Q
C
Cmax
Cmin
p=
Uout = U
Cmax
Cmin
•Vysoká životnost (více než
4 miliardy kapek z jedné trysky)
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
29
Elektrostatické měniče napětí
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
30
Elektrostatické měniče napětí
Činnost MEMS měniče napětí je rozložena do čtyřech kroků:
Ukotvení
•
V prvním kroku je sepnutý spínač S1, desky kondenzátoru jsou u sebe a mají
kapacitu Cmax, napětí na kondenzátoru je U.
•
V dalším kroku jsou spínače S1 a S2 rozepnuty, oddálením desek kondenzátoru
se změní kapacita na Cmin (náboj kondenzátoru Q se nezmění) a dojde ke
změně napětí na kondenzátoru Uc na maximální hodnotu.
•
V dalším kroku sepne spínač S2, kondenzátor se připojí k zátěži s napětím
Ucmax=Uout.
•
V posledním kroku se spínače S1 a S2 rozepnou, desky kondenzátoru se přiblíží a
kapacita kondenzátoru se změní na Cmax.
U=
Q
C
p=
Cmax
Cmin
Uout = U
Aktuátorová
část
Část s
proměnnými
kondenzátory
(napěťový měnič)
Cmax
Cmin
Pružina
Parametry - napěťový poměr p=10, minimální kapacita Cmin=0,5 pF,
U=24 V, hodinová frekvence 1 kHz, čip s plochou 2 mm2. Centrální nosník je
připojený na elektrickou zem. Spodní sekce elektrod představuje kondenzátory
měniče, horní sekce prstových elektrod (comb-drive) představuje elst. řízený aktuátor
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
31
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
Husák,M.: Mikrosenzory a
mikroaktuátory, Academia 2008
32
Literatura
H. Fujita and T. Ikoma, „Numerical Determination of the Electromechanical Field f or a Micro Serv osystem.“ Sensors and Actuators, A21-A23, pp. 215-218 (1990)
[14.2] S. D. Senturia, „The f uture of Microsensors and Microactuator Design“. Sensors and Actuators A 56, pp. 125-127 (1996).
[14.3] Tuller,H.L, Microactuators, Kluwer 1998
[14.4] S. Kumar, D. Cho, W. Carr, „A Proposal f or Electrically Levitating Micromotors.“ Sensors and Actuators A24, pp. 141-149 (1990)
[14.5] T. Niino, T. Higuchi and S. Egawa, Proc. IEEE Industry Applications Conf., Orlando, FL, pp. 1318-1325 (1995)
[14.6] Keller,Ch., Microfabricated High Aspect Ratio Silicon Flexures. http://www.memspi.com/booktoc.html, 2007
[14.7] Bey eler,F:, Neild,A., Oberti,S., Bell,D.J., Sun,Y ., Dual,J., Nelson,B.J., Monolithically Fabricated Microgripper with integrated force sensor fopr manipulating microobjects
and biological cells aligned in an ustrasonic f ield. Journal of Microelectromechanical Systems, v ol 16, February 2007, pp.7 – 15, ISSN 1057-7157.
[14.8] Y . Sun, B. J. Nelson, D. P. Potasek, nd E. Enikov, „A bulk microfabriated multi-axis capacitiv e cellular f orce sensor using transv erse comb driv es,“ J. Micromech.
Microeng., vol. 12, no. 6, pp. 832-840, 2002.
[14.9] Y . Sun, S. N. Fry, D. P. Potasek, D. J. Bell, and B. J. Nelson, „Characterizing f ruit fly f light behavior using a microf orce sensor with a new comb drive conf iguration,“ J.
Microelectromech. Syst, vol. 14, pp. 4-11, 2005.
[14.10] Rebeiz, Gabriel M.: RF MEMS: Theory , Design, and Technology. John Wiley & Sons, Inc., 2003
[14.11] (a) B. Romanowicz, Ph. Lerch, Ph. Renaud, E. Fullin and Y. de Coulon, „Simulation of Integrated Electromagnetic Device Systems.“ Transducers ´97, pp. 1051-1054
(1997)
[14.12] S. Majumder, et al., „Measurement and Modeling of Surface Micromachined, Electrostatically Actuated Microswitches.“ Transducers´97, pp. 1145-1148 (1997)
[14.13] Teplý,T.: MEMS mikrov lnné přepínače. Workshop GAČR 102/05 H032, ČVUT FEL, 2005.
[14.14] Rebeiz, G. M., Muldav in, J. B.: RF MEMS Switches and Switch Circuits, IEEE microwav e magazíne, 2001
[14.15] Gardner, J. W. – Karavan, V. K. – Awadelkarim O. O. : Microsensors MEMS and Smart Device. John Wiley & Sons, Inc., 2002
[14.16] M. T. Ching. R. A. Brennen and R. M. White, „Microf abricated Optical Chopper. „In Miniature and Micro-Optics and Micromechanics Proc., SPIE 1992, pp. 40-46 (1993).
[14.17] Th. Kraus, M. Batlzer, E. Obermeier, „A Micro Shutter for Applications in Optical and Thermal Detectors.“ Transducers ´97, pp. 67-70 (1997).
[14.18] G. Perragaux, P. Weiss, B. Kloek, H. Vuilliomenet and J. P. Thiebaud, „High-Speed Micro-Electromechanical Light Modulation Arrays.“ Transducers ´97, pp. 71-74
(1997).
[14.19] M. Tabib-Azar, Integrated Optics and Microstructure Sensors. Kluwer Academic Publishings, Boston (1995).
[14.20] L. A. Field, et al, „Micromachined 1x2 Optical-Fiber Switch. „Sensors and Actuators A53, pp. 311-315 (1996).
[14.21] K. Hogari, and T. Matsumoto, „Electrostatistically Driven Micromechanical 2x2 Optical Switch. „ Applied Optics Vol. 30 (10), pp. 1253-1257 (1991).
[14.22] S. S. Lee, E. Motamedi and M. C. Wu, „Surf ace-Micromachined Free-Space Fiber Optic Switches with Integrated Microactuators f or Optical Fiber Communication
Systems.“ Transducers ´97, pp. 85-88 (1997).
[14.23] R. A. Miller, Y . C. Tai, G. Xu, J. Bartha and F. Lin, „An Electromagnetic MEMS 2x2 Fiber Optic By pass Switch.“ Transducers ´97, pp. 89-92 (1997).
[14.24] Ming C. Wu: Trends in Optical MEMS Current, OFC 2005 Tutorial, University of California, Berkeley, EECS Department & Berkeley Sensor and Actuator Center (BSAC),
2004
[14.25] Vítek,T., Husák,M.: MEMS mikroaktuátory. Workshop GAČR 102/05 H032, ČVUT FEL, 2005.
Prof. Ing. Miroslav Husák, CSc., ČVUT FEL Praha
[14.26] Lin, J., Obermeier, E. und Schlichting, V.: Elektrostatisch aktiv ierte Mikroblende“, Mikroelektronik, 1993 (5) Fachbeilage „Mikrosystemtechnik“
33
Download

06 Elektrostaticke m..